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●フルスケール流量-ガス種:100SCCM-N2●ガス種類:N2●流量精度:±2%FS(精度保証範囲15~35℃)●応答性:6sec●流量制御範囲:5~100%FS●入出力:アナログ信号(0~5VDC)●バルブ形式:N/Oノーマルオープン●再現性:±0.2%FS●動作圧力範囲:50~300kPa●耐圧:1MPa(G)●外部リークレート:1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下●接ガス部材質:SUS316、PTFE、フッ素ゴム●接続:1/4in.SWL相当●電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA●通信方式:アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)●サイズ:127×25.5×100mm ●商品品番 aso 3-5067-02 ●JAN 4589645250170 ●メーカー型番 C1005
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